中晟光电国内首台砷化镓/磷化铟MOCVD设备成功发运

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中晟光电国内首台砷化镓/磷化铟MOCVD设备成功发运
2022-09-13 14:48:00
9月12日,中晟光电设备(上海)股份有限公司(以下简称“中晟光电”)发运国内客户首台砷化镓/磷化铟(GaAs/InP)外延MOCVD(金属有机化合物化学气相沉积)设备ProMaxy? PE。
  砷化镓/磷化铟材料广泛应用于光通讯、激光、射频、高效太阳能电池、LED照明和显示等领域。长期以来,材料外延生长的MOCVD设备一直被国外厂商垄断,中晟光电首台国内客户的成功发运及后续与客户的战略合作,将有力助推中国化合物半导体产业的健康发展。
  中晟光电ProMaxy? PE设备采用自主创新的气体均匀传输和快速切换控制等核心技术,旨在有效解决光通迅/激光器件等对外延材料生长的界面特性控制难题,并保障外延材料厚度和组份的均匀性,为提高器件的整体性能奠定基础。
(文章来源:上海证券报·中国证券网)
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